熱式質(zhì)量流量計在國內(nèi)習稱量熱式流量計，是利用流體流過外熱源加熱的管道時產(chǎn)生的溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量流體質(zhì)量流量的一種流量儀表.一般用來測量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低;流量范圍度大;高精度、高重復(fù)性和高可靠性;無可動部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測和控制等特點. 利用加熱流體的熱量(或溫度)變化測量流體的質(zhì)量流量已有很長的歷史。早期的TMF直接將加專線圈和測溫元件放人流體中與流體直接接觸，是一種接觸式流量計，由于不能解決嘴蝕和磨損以及防爆等問題，使它的工業(yè)應(yīng)用受很大的限制。托馬斯流量計是這種流量計的代表，主要用來測量較大流量的氣體質(zhì)量流量;到20世紀50年代，人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計，克服了接觸式流量計的缺點，但測量結(jié)果易受介質(zhì)參數(shù)(如導熱系數(shù)、比熱容、粘度等)的影響，可以用來測量較大的液體流量;到70年代，基于測量流體溫度分布的熱分布型TMF，由于其獨特的優(yōu)點在國內(nèi)外得到了很快的發(fā)展，用來測量氣體的微小流量，隨著科技的發(fā)展，經(jīng)過對流量計結(jié)構(gòu)上的重新設(shè)計，在接觸式流量計的基礎(chǔ)上，人們提出了一種浸人型的TMF，也得到了很快的發(fā)展，可以用來測量較大管徑的氣體流量。綜上所述，TMF在目前是一種主要用來測量氣體質(zhì)量流量的直接式質(zhì)量流量計。
　　熱式質(zhì)量流量計：利用傳熱原理檢測流量的儀表，即利用流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表。過去我國習稱量熱式流量計。
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